真空冷凍干燥是在真空干燥之前先將物料冷凍到該種物料的共晶點溫度以下，待物料*凍結后再進行真空干燥。因此，真空冷凍干燥除具有上述真空干燥的特性外，還因預先凍結時固定了物料的外形，形成了固體骨架，干燥后能保持形狀基本不變，物料內的物質成分分布均勻，形成多孔狀物質結構，容易吸水。對于食品物料，真空冷凍干燥（以下簡稱凍干）后，能保持物料的色、香、味、營養成分、形狀基本不變；對藥品物料，能保證藥效不變，定量準確，無污染；對生物制品、活菌、活毒、離體生物組織物料，凍干后能保持其活性，以便于應用。凍干物料含水率可以達到很低，方便長途運輸和長期貯藏。

    雖然真空干燥設備有諸多優點，但其需要配置真空系統，在大型連續化生產設備上還需要在進出口處設置傳動部件的真空動密封結構。由于這種結構元件，容易造成泄漏，使用過程中需要定期檢查，及時更換，給用戶增添了麻煩。真空干燥設備還有制造成本高，運轉費用貴，造成干燥后的產品價格高，特別是凍干產品價格更高等一系列缺點。但是，由于其具有*的干燥特性，好多物料不得不采用真空干燥工藝。